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| 技術文獻 |
| 精密加工和超精密加工的范疇 |
精密加工和超精密加工范疇 制造技術的發展已有幾千年的歷史，從石器時代、銅器時代、鐵器時代到現代的高分子塑 料時代：從手工制作、機器制作到現代的智能控制自動化制作；同時，從一般精度加工、精密 加工到超精密加工，現在已達到廣為流傳的納米加工境界，并逐漸接近加工精度和表面質量的 極限，代表了當前先進制造技術的一個重要方面。因此，精密加工和趄精密加工代表了加工精 度發展的不同階段，由于生產制造技術的不斷發展，劃分的界味將隨著歷史進程而逐漸向前推 移，過去的精密加工對今天來說已是一般如工，其劃分的界限是相對的，并且在具體的精度數 值上至今沒有確切的定義。 當前，精密加工是指加工精度為1-0.1um、表面粗糙度為R0.1-0.01um的加工技術， 超精密加工是指加工誤差小于0.1um，表面粗糙度小于R0.025um的加工技術，又稱之為亞微米級加工。從稍密加工和趙精密加工的范味來看，它應該包括微細加工和趙徽細加I、先整加工和精 整加工等加工技術。 微細加工和超微細加工技術是指制造微小尺寸零件的加工技術，它們是針對集成電路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切肩的大小來表示的，而不是像一榖尺寸那樣， 用所加工尺寸與尺寸誤差的值來表示。 光I整加工技術，一般是指降低表面粗糙度值和提高表面層力學及機械性質的加工方法，不 強調加工精度的提高。近年來，搗出了相對應的精整加工概念，強調了精度和表面質量兩個方 面。但從光整加工和精整加工的概念上來說，含有毛刺加工方面。
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