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| 技術文獻 |
| 真空泵型號組成說明 |
JB/T 7637-95規定，真空泵由基本型號和輔助型號兩部分組成，兩者中間為橫直線。 2SK-12水環式真空泵 2表示雙級，抽氣速率為12m3/min W-35B往復真空泵，抽氣速率為35L/s，第二次改型設計； 2X-15A雙級旋片式真空泵，抽氣速率為15L/s，第一次改型設計； XD-63單級多旋片式真空泵，抽氣速率為63rrr3 /h； ZJ-600羅茨真空泵抽氣速卒為600L/s； Y2-150余擺線真空泵，抽氣速率為150L/s； 3L-160三極濺射離子泵，抽氣速率為160L/s； F-160分子泵，進氣口徑為160mm； K-800 油擴散真空泵，進氣口徑為800mm； 2-400油擴散噴射泵，進氣口徑為400mm； S-400升華泵，進氣口徑為400mm；GL-100鋯鋁吸氣劑泵，進氣口徑為100mm； D2-160制冷機低溫泵，進氣口徑為160mm； IF-3分子篩吸附泵，裝入分子篩質量為3kg； 水蒸氣噴射泵型號按下例編制： 3P0.63-50/0 .6-10三級水蒸氣噴射泵。吸人壓力為0.63kPa，抽氣量為50kg/h，其中可凝性氣體量為lOkg/h，工作蒸汽壓力為0.6MPa。
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